大学院工学研究科電子物理工学分野　プロセス物理研究グループの大学院生　柴田真由子（指導教官　平井義彦　教授）らの論文が、4月23日～25日にソウルで開催されたナノインプリント技術に関する国際会議（ASNIL 2008）において、最優秀論文賞を受賞しました。

論文タイトル：Study on resist deformation time in thermal NIL
著者：M. Shibata, T. Tanabe, H. Kawata, Y. Hirai